О новой разработке зеленоградских микроэлектронщиков — кластерных системах для плазмохимического осаждения и травления для выпуска микросхем до 65 нм на пластинах до 300 мм — из первых рук и из центра событий.
Видео Павла Чукаева и Дарьи Чуйковой, Инфопортал
Заглавное фото: Дмитрий Ерохин
